鈴木裕輝夫

スズキユキオ | Suzuki Yukio

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (2件)： http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/ , http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/index_e.html

研究分野 (1件)：ナノマイクロシステム

研究キーワード (4件)： MEMS統合プロセス , ウェハレベル真空パッケージング , 集積化MEMS , 圧電MEMSアクチュエータ

論文 (34件)：

Tianjiao Gong, Yukio Suzuki, Karla Hiller, Shuji Tanaka. Characterization of plasma-activated, thermally-annealed Si-SiO2 direct bond strength for vapor HF etching. Sensors and Actuators A: Physical. 2023. 363. 114691-114691
Yukio Suzuki, Muhammad Jehanzeb Khan, Munehiro Honda, Hidetoshi Miyashita, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka. SINGLE PASCAL VACUUM SEALING OF MEMS RESONATOR BY SILICON MIGRATION WAFER-LEVEL PACKAGING WITIOUT GETTER. Proceeding of Transducers 2023, Kyoto. 2023. 1539-1542
Gen Shikida, Hideharu Itatani, Toshio Kudo, Shuntaro Machida, Yukio Suzuki, Shuji Tanaka, Manabu Izumi. ULTRATHICK LOW-STRESS POLY-SILICON FILM FOR MEMS PREPARED BY LPCVD PROCESS. Proceeding of Transducers 2023, Kyoto. 2023. 1504-1507
Zhengnan Tang, Leo Soda, Taiyu Okatani, Andrea Vergara, Yukio Suzuki, Shuji Tanaka. PZT MEMS TUNABLE LIQUID LENS WITH INTEGRATED PIEZORESISTIVE POSITION SENSOR. Proceeding of Transducers 2023, Kyoto. 2023. 835-838
Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka. Mems Resonator Vacuum-Sealed by Silicon Migration and Hydrogen Outdiffusion. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2023. 2023-January. 661-664

MISC (4件)：

MEMS-ウェハレベルパッケージ,-LSI集積化. 金属. 2017. 87. 12. 1027-1032
鈴木裕輝夫. MEMS技術の微細パターンニングへの応用. 半導体微細パターニング. 2017. 363-370
戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 小野崇人, 吉田慎哉, 江刺正喜. 試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援. 金属. 2013. 83. 9. 13-20
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi. Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production. Proceedings of the International Display Workshops. 2013. 2. 1405-1408

講演・口頭発表等 (29件)：

薄膜PZTアクチュエータとピエゾ抵抗センサを有するMEMS可変焦点液体レンズ
(「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40 4p 2023年11月 2023)
マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術
(「第21回MEMS集中講義」 2023)
接合条件と熱酸化処理が直接接合品質に与える影響に関する研究
(第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 14P3-PN-39 2022)
高濃度にドープされたシリコン構造に対する水素および窒素アニーリングの影響
(第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 14P3-PN-9 2022)
SMSウェハレベル真空封止技術のためのサブミクロンリリースホールを介したベーパーHF犠牲層エッチングの研究
(第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022)

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (6件)：

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受賞 (8件)：

2023/11 - 電気学会第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS 振動子の1 Pascal 真空封止
2022/11 - 電気学会第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞 SMS ウェハレベル真空封止技術のためのサブミクロンリリースホールを介したベーパーHF 犠牲層エッチングの研究
2020/11 - 電気学会第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム最優秀技術論文賞(1/184件) 深紫外LED向けシリコンパッケージング技術(Si-PKG)の開発
2019/11 - 電気学会第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて優秀ポスター賞深紫外 LED 向けシリコンパッケージング技術の開発
2019/11 - 電気学会第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技

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所属学会 (3件)：

日本機械学会 , 電気学会 , IEEE

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鈴木 裕輝夫