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J-GLOBAL ID：201202102950883981   整理番号：12A1462671

TEOS-CVD法による光導波路の紫外線照射誘起吸収変化

著者 (5件)： 柳崇 (早稲田大 理工) ,  服部雅晴 (早稲田大 理工) ,  中西哲也 (早稲田大 理工) ,  大木義路 (早稲田大 理工) ,  西川宏之 (芝浦工大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 62nd  号： 2  ページ： 719  発行年： 2001年09月11日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： TEOS ,  CVD法 ,  光導波路 ,  紫外線照射 ,  誘起