Ru/(Ba,Sr)TiO<sub>3</sub>/Ruキャパシタ用プラグ埋込みバリア層の検討

文献

J-GLOBAL ID：201202117370268519 整理番号：12A1364846

Ru/(Ba,Sr)TiO₃/Ruキャパシタ用プラグ埋込みバリア層の検討

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資料名：
巻： 47th 号： 2 ページ： 507 発行年： 2000年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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