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J-GLOBAL ID：201202127542977458   整理番号：12A1462651

TEOS-CVD法により作製した光導波路薄膜の顕微ラマン分光による評価

著者 (6件)： 西川宏之 (芝浦工大) ,  梁川圭介 (芝浦工大) ,  惣野崇 (芝浦工大) ,  山口喬之 (東京都大 工) ,  渡辺英紀 (東京都大 工) ,  大木義路 (早稲田大 理工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 62nd  号： 2  ページ： 712  発行年： 2001年09月11日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： TEOS ,  CVD法 ,  作製 ,  光導波路 ,  薄膜 ,  評価