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J-GLOBAL ID：201202135862856171   整理番号：12A1345761

マイクロ波プラズマCVDによるIr基板上へのダイヤモンド核形成初期過程の考察

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著者 (6件)：
藤崎豊克

藤崎豊克 について

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立木実

立木実 について

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福田徹

福田徹 について

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日根恭子

日根恭子 について

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梅澤仁

梅澤仁 について

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川原田洋

川原田洋 について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 61st  号： 2  ページ： 471  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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マイクロ波プラズマCVD

マイクロ波プラズマCVD について

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Ir

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ダイヤモンド

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核形成

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初期

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過程

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