文献
J-GLOBAL ID:201202196551437620
整理番号:12A1366066
イオン注入法でSiO2膜中に形成されるナノクリスタルシリコンの発光機構
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著者 (3件):
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資料名:
巻:
47th
号:
2
ページ:
916
発行年:
2000年03月28日
JST資料番号:
Y0054A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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