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J-GLOBAL ID：201202200209290762   整理番号：12A0098035

水素終端Si上にいろいろな官能基とともに被覆したペルフルオロポリエーテルのマイクロトライボロジー研究

Microtribological study of perfluoropolyether with different functional groups coated on hydrogen terminated Si

著者 (4件)： MINN Myo (Dep. of Mechanical Engineering, National Univ. of Singapore, 9 Engineering Drive 1, Singapore 117576, SGP) ,  SATYANARAYANA Nalam (Dep. of Mechanical Engineering, National Univ. of Singapore, 9 Engineering Drive 1, Singapore 117576, SGP) ,  SINHA Sujeet K. (Dep. of Mechanical Engineering, National Univ. of Singapore, 9 Engineering Drive 1, Singapore 117576, SGP) ,  KONDO Hirofumi (Sony Chemical & Information Device Corp., R&D Div., 1078 Kamiishikawa, Kanuma 322-8503, JPN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 7  ページ： 2350-2355  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： いろいろな官能基とともに被覆したペルフルオロポリエーテル(PFPE)膜の摩擦と摩耗特性を,Si(Si-H)上の水素終端有りと無しについて,ボールオンディスク試験機を用いて研究した。膜の物理的及び化学的特性は,接触角測定,原子間力顕微鏡及びX線光電子分光を用いて評価した。裸のSiへのPFPE被覆は,直ちに壊れた裸のSiに比較して,摩擦係数を(Siの0.6からPFPE付きの~0.05まで)低め,摩耗耐久性を増大(20,000倍に)させた。PFPE被覆に先立っての水素終端の導入は,いろいろな官能基のついたPFPEの摩耗耐久性を,30mNの垂直荷重と0.052m/秒の滑り速度で,さらに数倍(>5倍)増加させた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *フッ素化重合体 ,  ポリエーテル ,  潤滑剤 ,  *潤滑膜 ,  *ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  官能化 ,  トライボロジー ,  接触角 ,  被覆 ,  顕微鏡観察 ,  X線光電子スペクトル ,  *摩擦係数 ,  *耐摩耗性
準シソーラス用語： マイクロトライボロジー ,  原子間力顕微鏡観察 ,  *水素終端 ,  ペルフルオロポリエーテル

分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水素終端 ,  Si ,  官能基 ,  ペルフルオロポリエーテル ,  マイクロトライボロジー ,  研究