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J-GLOBAL ID：201202200351215069   整理番号：12A1444965

MEMS型共振器駆動用の新規バンドパススライディングモード制御

Novel band-pass sliding mode control for driving MEMS-based resonators

著者 (3件)： SARRAF Elie H. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of British Columbia, 2332 Main Mall, Vancouver, BC, V6T 1Z4 Canada) ,  SHARMA Mrigank (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of British Columbia, 2332 Main Mall, Vancouver, BC, V6T 1Z4 Canada) ,  CRETU Edmond (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of British Columbia, 2332 Main Mall, Vancouver, BC, V6T 1Z4 Canada)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 186  ページ： 154-162  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS型共振器と共振センサ(例えば,振動ジャイロスコープ)の駆動モードへの,新規バンドパススライディングモード制御(SMC)の適用について述べた。提案した手法は,可動質量のバイナリ静電駆動に依存し,生成される駆動軌跡は,外部要因(湿度,温度,圧力,他)により誘起された機械的共振周波数における可能な変化を追跡するといった方法で,スライデング/切換面の動特性によって決まる。提案した適応的手法の核心部は,この制御装置により使用される適応行動規範モデルのハードウェアにおける実行であり,動特性における検地される変化を追跡できる。このアーキテクチャは,共振器のパラメータにおける大きな変化(例えば,弾性係数における温度による変化)対してのロバストな追跡動作に加えて,ハードウェア複雑性が低く,VLSI実装に適している。シミュレーション結果は,弾性係数の変動(ステップ,線形)または加えられた外力(外部化速度および雑音)が存在しても,その共振周波数におけるシステムの作動を維持することにより,提案した手法の有効性を示した。シミュレーション結果は,この新規SMCベースの発振器は,従来からMEMS共振器の駆動に使われている,より複雑な移相ロックループ(PLL)アーキテクチャへの有利な代替手段を提供することを示唆している。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *MEMS ,  駆動 ,  *スライディングモード制御 ,  センサ ,  ジャイロスコープ ,  振動 ,  *共振器 ,  弾性係数
準シソーラス用語： 静電駆動

分類 (3件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  共振器 ,  バンド ,  パス ,  スライディングモード制御