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J-GLOBAL ID：201202201036657432   整理番号：12A0871084

弾性表面波歪センサ用パッケージングに関する考察

Packaging Considerations for a Surface Acoustic Wave Strain Sensor

著者 (4件)： DONOHOE Brian (Trinity Coll., Dublin, IRL) ,  GERAGHTY Dermot (Trinity Coll., Dublin, IRL) ,  O’DONNELL Garret E. (Trinity Coll., Dublin, IRL) ,  STONEY Rory (Trinity Coll., Dublin, IRL)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 5-6  ページ： 922-925  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1ポートSAW共振器歪センサに対するパッケージング効果を考察した。市販のパッケージと標準的な歪計接着剤を用い,AT-X水晶上に作製した1ポート非アポディゼイションSAW共振器を気密封止した。最終的な素子がモジュール型汎用SAW共振器歪センサとして動作するように封止した。ある範囲の温度と負荷条件に対するこの歪センサのキャリブレーションを行った。良好な感度と低いレベルのヒステリシス及び熱ドリフトを実現した。

シソーラス用語： *歪計 ,  共振器 ,  ATカット ,  水晶振動子 ,  *ハーメチックシール ,  *弾性表面波 ,  性能評価
準シソーラス用語： パッケージング ,  弾性表面波共振器 ,  歪センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 弾性表面波 ,  歪センサ ,  パッケージング