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J-GLOBAL ID：201202201086254096   整理番号：12A1589270

ポリマーセラミックナノ複合材料を用いたポリマーリボン導波路

THz Ribbon Waveguides using Polymer-Ceramic Nanocomposites

著者 (2件)： YANG Xianbo (Michigan State Univ., MI, USA) ,  CHAHAL Premjeet (Michigan State Univ., MI, USA)
資料名： Proceedings. Electronic Components & Technology Conference  (Proceedings. Electronic Components & Technology Conference)
巻： 62nd Vol.1  ページ： 225-230  発行年： 2012年 
JST資料番号： H0393A  ISSN： 0569-5503  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： THz波帯集積化の基本的な校正要素の一つは,THz相互接続(導波路)である。本稿では,ウエハレベルの集積化に適した低損失でシングルモード広帯域伝送が可能なリボン状の平面導波路を検討した。導波路は,high-k材料のコアをlow-k材料のクラッド層で挟んだ構造とした。誘電体材料としては,ポリマー-セラミックナノ複合材料を用い,その配合比率をシミュレーションにて損失と電磁界閉じ込めのためのトレードオフから最適化した。導波路の制作では,ナノ複合材料をホトレジストによってパターン化する方法と,市販のドライフィルムをレーザによってパターン化する方法の2通りを行った。その試料の測定結果により,ポリマー-セラミックナノ複合材料を用いたリボン状導波路は,ウエハレベルのTHz波プレーナ回路に適していることを確認した。

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  セラミック ,  重合体 ,  導波路 ,  誘電材料 ,  *電磁波 ,  レーザ ,  *平面導波路 ,  *テラヘルツ波
準シソーラス用語： high-k材料 ,  *THz波 ,  プレーナ導波路 ,  ポリマ ,  low-k材料

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (2件)： 複合材料 ,  導波路