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J-GLOBAL ID：201202201184664855   整理番号：12A0233517

MgF₂反射防止コーティングの原子酸素誘起劣化に及ぼす堆積条件の影響

THE EFFECT OF DEPOSITION CONDITIONS ON THE ATOMIC OXYGEN INDUCED DEGRADATION OF MGF2 ANTI-REFLECTIVE COATINGS

著者 (2件)： IANNO N. J. (Univ. Nebraska, NE, USA) ,  SPECKMAN D. M. (Aerospace Corp., CA)
資料名： Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference  (Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference)
巻： 35th Vol.4  ページ： 2546-2549  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0756A  ISSN： 0160-8371  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 約800km以下の宇宙船軌道は表面材料を激しく劣化させる高密度の原子酸素(AO)に曝される。特に憂慮すべきは太陽アレイ表面上の反射防止(AR)コーティングであり,これは環境から太陽パネルを保護するだけでなく,太陽電池に入射する光の透過を増加させる。このARコーティングの劣化は太陽パネルの性能に大きく影響し,有益な使命を達成するために必要な電力が十分でなくなることがある。一般的な宇宙用太陽電池のカバーは,90nmのMgF₂ ARコーティングによってコートされたセリア(CeO₂)ドープホウケイ酸ガラス(CMG)基板からできている。以前の研究から,市販MgF₂反射防止コーティングの透過率はAOフラックスに曝すと非常に劣化することが分かっている。この観点から,堆積条件が制御できるインハウスにおいて,MgF₂膜を堆積した。電子ビーム蒸着によって,セリアマイクロシート基板上にMgF₂膜を堆積した。システムのベース圧力は,液体窒素(LN2)トラップを用いない場合,2.3×10^-6トールであり,LN2トラップを用いた場合,<5×10^-7トールであった。水晶結晶微量天秤によって膜の厚みをモニタし,温度制御ヒータブロック上に基板をマウントした。原料物質は市販のMgF₂顆粒である。分光偏光解析,X線回折,そして,Auger分光法によって,堆積膜及びそのAO暴露したものを解析した。堆積膜の酸素濃度を制御することによって,膜の光学特性を大幅に変化させないで,透過率劣化を一桁減少できることを示した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  フッ化マグネシウム ,  *反射防止膜 ,  酸素 ,  原子 ,  劣化 ,  ホウケイ酸ガラス ,  セリウム化合物 ,  X線回折 ,  偏光解析法 ,  Auger分光法 ,  透過率 ,  薄膜成長 ,  宇宙工学 ,  宇宙飛行体
準シソーラス用語： 反射防止コーティング

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： MgF2 ,  反射防止コーティング ,  原子酸素 ,  誘起 ,  堆積