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J-GLOBAL ID：201202201692597144   整理番号：12A1727326

圧力,触覚および振動検出用の垂直整列多層炭素ナノチューブ

Vertically aligned multiwalled carbon nanotubes for pressure, tactile and vibration sensing

著者 (7件)： YILMAZOGLU O (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  POPP A (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  PAVLIDIS D (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  SCHNEIDER J J (Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  GARTH D (Battenberg ROBOTIC GmbH & Co. KG, Marburg, DEU) ,  SCHUETTLER F (Battenberg ROBOTIC GmbH & Co. KG, Marburg, DEU) ,  BATTENBERG G (Battenberg ROBOTIC GmbH & Co. KG, Marburg, DEU)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 8  ページ： 085501,1-8  発行年： 2012年03月02日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧力,触覚および振動検出のために垂直のよく整列した多層炭素ナノチューブ(MWCNT)のマイクロ-ナノ統合を実現することに成功した。屈曲性の垂直整列MWCNT配列が多孔質アルミナ(Al₂O₃)テンプレート法により上部炭素層と底部炭素層の間に挟まれている。敏感さ研究および空間分解能評価に適した測定装置を実現した。最初の測定は,それぞれ約35%までの抵抗減少そして1mmより小さい空間分解能をもつ高感度のピエゾ抵抗センサーを示した。また振動テフロン板上の振動ゲージとしてもCNTセンサー配置を用いた。センサーは0.15Vの入力信号で約30%の抵抗減少を示した。この型の配置は間接的力の測定のために用いることができる。このセンサー配列はモノリシック,屈曲性であり,数平方センチメートルまでの寸法で作製できる。この方法は室温加工段階を標準的な微細加工技法を必要とする。

シソーラス用語： *多層カーボンナノチューブ ,  *圧力センサ ,  センサ ,  触覚センサ ,  *分子配向 ,  屈曲度 ,  *鋳型効果 ,  アルミナ ,  多孔質体 ,  電気抵抗
準シソーラス用語： 振動センサ ,  *垂直整列

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 触覚 ,  振動検出 ,  垂直整列 ,  多層 ,  炭素ナノチューブ