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J-GLOBAL ID：201202201812657243   整理番号：12A0233655

Al₂O₃膜によるc-Siの電界効果不動態化のコロナ帯電と光学的第二高調波発生

CORONA CHARGING AND OPTICAL SECOND-HARMONIC GENERATION STUDIES OF THE FIELD-EFFECT PASSIVATION OF c-SI BY Al₂O₃ FILMS

著者 (6件)： MANDOC M.M. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  ADAMS M.L.C. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  DINGEMANS G. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  TERLINDEN N.M. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN DE SANDEN M.C.M. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  KESSELS W.M.M. (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名： Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference  (Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference)
巻： 35th Vol.5  ページ： 3200-3204  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0756A  ISSN： 0160-8371  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン太陽電池においては表面不動態化として原子層蒸着(ALD)で形成したAl₂O₃膜が用いられる。本研究においては,その性能に対応する機構について調べた。Al₂O₃不動態膜とc-Siの界面においては電荷密度10¹²~10¹³の負の電荷が存在することが知られているが,その検証に二つの非接触型の手法を用いた。一つは第二高調波発生でありもう一つはコロナ帯電である。これらのを用いた技術により,Al₂O₃/c-Siの電界効果不動態化を特性化できることを明らかにした。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *不動態皮膜 ,  酸化アルミニウム ,  第二高調波発生 ,  帯電 ,  電場効果
準シソーラス用語： コロナ帯電 ,  *シリコン太陽電池

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (7件)： Al2O3 ,  Si ,  電界効果 ,  不動態化 ,  コロナ帯電 ,  光学 ,  第二高調波発生