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J-GLOBAL ID：201202202220165913   整理番号：12A0495025

X線トポグラフィの進展 X線トポグラフィの三次元化と応用

Three-Dimensional X-ray Topography and Its Applications

著者 (4件)： 梶原堅太郎 (高輝度光科学研究セ) ,  飯田敏 (富山大 理) ,  向出大平 (キヤノン) ,  川戸清爾 (九州シンクロトロン光研究セ)
資料名： 日本結晶学会誌  (Journal of the Crystallographic Society of Japan)
巻： 54  号： 1  ページ： 12-17  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： G0232A  ISSN： 0369-4585  CODEN： NKEGAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シンクロトロン放射光の利用により三次元X線トポグラフィが可能になった。この手法としてトポートトモグラフィとステップスキャニングセクショントポグラフィを紹介した。トポートトモグラフィは試料を回転させながら,測定した二次元投影像から三次元像を再構成する手法である。シリコン単結晶についてその例を示した。ステップスキャニングセクショントポグラフィはシート状の入射X線を用いて試料の断面像を直接測定する手法である。この像を画像処理で積み重ねて三次元像を得る。これらの像は格子欠陥周辺の歪場の運動学的回折像である。試料厚さが消衰距離も厚く,X線光路が線吸収係数の逆数より短い条件がこの像の観察に必要である。Cz-Si単結晶についてトポートトモグラフィ法によりハーフループ形状の転位線を見出した例,ステップスキャニングセクショントポグラフィによる人工蛍石中の亜粒界とすべり線の観察例を示した。

シソーラス用語： *X線トポグラフィー ,  *立体画像 ,  *ケイ素 ,  単結晶 ,  *画像 ,  *再構成 ,  X線 ,  画像処理 ,  *格子欠陥
準シソーラス用語： トポートトモグラフィ ,  ステップスキャニングセクショントポグラフィ ,  投影像 ,  シート状X線 ,  断面像

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

引用文献 (8件)：

• 1) A. R. Lang: Acta Cryst. 12, 249 (1959).
• 2) K. Haruta: J. Appl. Phys. 36, 1789 (1965).
• 3) A. L. Andersen and L. Gerward: Phys. Status Solidi a 23, 537 (1974).
• 4) S. Kawado and J. Aoyama: Appl. Phys. Lett. 34, 428 (1979).
• 5) W. Ludwig, P. Cloetens, J. Härtwig, J. Baruchel, B. Hamelin and P. Bastie: J. Appl. Cryst. 34, 602 (2001).

タイトルに関連する用語 (3件)： X線トポグラフィ ,  進展 ,  応用