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J-GLOBAL ID：201202202231212107   整理番号：12A0806354

TMAH溶液中での異方的湿式エッチングによる断面が三角形のビームを有するシリコンマイクロ加速度計

A silicon micro-accelerometer with triangle cross-section beam by anisotropic wet etching in TMAH solution

著者 (5件)： LV Yu (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  CUI Hongjuan (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  DONG Peitao (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  CHEN Zhihua (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  WU Xuezhong (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 503  ページ： 151-155  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 感度の良い静電容量型のシリコンマイクロ加速度計を設計および試作した。本デバイスは断面が三角形の8本の弾性ビームでマスプルーフを支える構造になっている。8本の懸垂ビームはSi(100)のTMAH溶液中の異方的湿式エッチングにより形成した。本センサの性能を有限要素解析に基づくANSYSによりシミュレーションした。論文ではセンサの製作プロセスについて詳しく説明した。試作したデバイスの共振周波数は644Hzで,加速度と出力電圧は良好な直線性を示し,感度は2V/gである。

シソーラス用語： *エッチング ,  溶液 ,  *ケイ素 ,  *加速度計 ,  三角形 ,  梁 ,  計算機シミュレーション ,  共振周波数
準シソーラス用語： *異方性エッチング ,  *マイクロ加速度計

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

物質索引 (1件)： TMAH

タイトルに関連する用語 (7件)： TMAH ,  溶液 ,  湿式エッチング ,  三角形 ,  ビーム ,  シリコン ,  マイクロ加速度計