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J-GLOBAL ID：201202202957023443   整理番号：12A0426854

RFマグネトロンスパッタを用いたZnO薄膜作成の構造と光学的性質

Structure and Optical properties of ZnO thin film preparation using RF magnetron sputtering

著者 (4件)： QUAN Shanyu (ShenYang Univ. Technol., ShenYang, CHN) ,  YANG Linmei (ShenYang Univ. Technol., ShenYang, CHN) ,  LIU Cong (ShenYang Univ. Technol., ShenYang, CHN) ,  ZHANG Xudong (ShenYang Univ. Technol., ShenYang, CHN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 663/665  号： Pt.1  ページ： 377-380  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  マグネトロンスパッタ ,  ZnO薄膜 ,  光学的性質