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J-GLOBAL ID：201202203072320200   整理番号：12A1692160

TaN膜の機械的特性に対するTiドープの影響

The influence of Ti doping on the mechanical properties of TaN film

著者 (7件)： LIU X. (Sci. and Technol. on Power Beam Processes Lab., Beijing Aeronautical Manufacturing Technol. Res. Inst., Beijing ...) ,  LIU X. (School of Material and Engineering, Dalian Univ. of Technol., Dalian, 116085, CHN) ,  MA G.j. (Sci. and Technol. on Power Beam Processes Lab., Beijing Aeronautical Manufacturing Technol. Res. Inst., Beijing ...) ,  MA G.j. (School of Material and Engineering, Dalian Univ. of Technol., Dalian, 116085, CHN) ,  SUN G. (Sci. and Technol. on Power Beam Processes Lab., Beijing Aeronautical Manufacturing Technol. Res. Inst., Beijing ...) ,  DUAN Y.p. (School of Material and Engineering, Dalian Univ. of Technol., Dalian, 116085, CHN) ,  LIU S.h. (School of Material and Engineering, Dalian Univ. of Technol., Dalian, 116085, CHN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 212  ページ： 128-133  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ECRマイクロ波プラズマ源増強DCマグネトロンスパッタリングにより,異なるチタン濃度(0.15<x<0.51)のチタンとタンタル窒化物膜(Ti_xTa_1-xN)を軸受鋼上で合成し,Ti_xTa_1-xN膜の組織と機械的特性に与えるTi濃度の影響を研究した。膜の厚さと形態を走査電子顕微鏡(SEM)により観察した。膜の組成分析はSEM中のエネルギー分散分光(EDS)により行った。構造はX線回折(XRD)により調べた。機械的特性はナノインデンテーションとスクラッチ試験機を用いて評価した。結果は,異なるチタン原子濃度を持つTi_xTa_1-xN膜中に(111)および(002)配向性が存在することを示した。TaN膜の最小粒サイズは,Ti濃度約22%で成長した14nmよりも小さく,ドーパントとドーピング量と共に大きく変化した。類似性は機械的特性の変化にあり,硬度,弾性率,塑性および密着性を含む機械的特性もTi濃度に敏感で,約22%のTi濃度で明瞭に改善され,これら特性間の強い相関を示した。全ての性能は,Ti_xTa_1-xN膜へのTiの適切な添加がその機械的特性の改善をもたらすことを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *タンタル化合物 ,  *窒化物 ,  *チタン ,  ドーピング ,  *蒸着膜 ,  ドーパント ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  RFスパッタリング ,  軸受鋼 ,  高合金鋼 ,  高炭素鋼 ,  クロム含有合金 ,  モリブデン含有合金 ,  バナジウム含有合金 ,  ケイ素含有合金 ,  *セラミック被覆 ,  ナノインデンテーション ,  結晶方位 ,  結晶粒度 ,  微小硬さ ,  弾性係数 ,  塑性 ,  密着性 ,  チタン化合物 ,  引かき硬さ
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  プラズマ支援マグネトロンスパッタリング ,  *窒化タンタル ,  窒化チタンタンタル

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 機械的特性 ,  Ti ,  ドープ