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J-GLOBAL ID:201202203701129887   整理番号:12A0189142

ペロブスカイト(La,Sr)FeO3膜の表面モルフォロジー及び誘電特性に及ぼす化学量論比及びMnドーピングの影響

Influence of Stoichiometric Ratio and Mn-Doping on the Surface Morphology and Dielectric Properties of Perovskite (La,Sr)FeO3 Films
著者 (3件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 59-63  発行年: 2012年01月 
JST資料番号: W0462A  ISSN: 1574-1443  CODEN: JIOPE4  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ゾルゲル法により白金化/シリカ/ケイ素(Pt/SiO2/Si)基板上に,ランタンストロンチウムフェライト(La1-xSrxFeO3,x=0.1,0.3,0.5,0.7)(LSF)膜を製造した。LSF膜の結晶化,表面モルフォロジー及び誘電特性を調べた。試料の中で,La0.5Sr0.5FeO3薄膜は,周波数1kHzにおいて,最も均一で滑らかな表面及び最良の誘電特性(εr=2881.58,tanδ=1.20)を示した。La0.5Sr0.5FeO3へのMnドーピング(y)は,誘電特性(εr=2922.91,tanδ=1.11)を更に改善した。Mnドーピング(y=0.02)したLa0.5Sr0.5FeO3のεrとtanδの双方は,周波数が増すにつれ低下した。最大のεr値は,周波数0.02kHzのときに3238.18であった。Copyright 2011 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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複塩  ,  酸化物薄膜 

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