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J-GLOBAL ID：201202204336212385   整理番号：12A1236602

キャリア縞導入なしの多波長干渉計法によるシングルショット表面プロファイリング

Single-shot surface profiling by multiwavelength interferometry without carrier fringe introduction

著者 (1件)： KITAGAWA Katsuichi (Toray Engineering Co., Ltd., Otsu, JPN)
資料名： Journal of Electronic Imaging  (Journal of Electronic Imaging)
巻： 21  号： 2  ページ： 021107.1-021107.9  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W0500A  ISSN： 1017-9909  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来のシングルショット干渉計法の空間キャリア干渉計法には空間分解能が低いという欠点がある。本稿では,グローバルモデルフィッティングと呼ぶ新しいシングルショット干渉計法表面プロファイリング技術を提案した。これにより多波長強度データからモデルパラメータと複数点の高さを同時に推定した。本技術は,均一表面のみに適用可能であるが,従来のシングルショット干渉計法に比べていくつかの利点がある。最も著しい特徴は空間分解能に損失がないことである。他の利点は次の通りである。1)高速測定,2)キャリア縞導入の必要がなく低コストおよび簡単な光学系,3)予備的キャリブレーションが不要。本提案の妥当性をシミュレーションと実験で証明した。

シソーラス用語： 波長 ,  *干渉測定 ,  *表面 ,  空間分解能 ,  *特徴抽出 ,  近似法 ,  モデル ,  干渉縞
準シソーラス用語： *プロファイリング ,  モデルフィッティング ,  *干渉計法 ,  *多波長

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： キャリア ,  縞 ,  多波長 ,  干渉計法 ,  ショット ,  プロファイリング