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J-GLOBAL ID：201202204611126613   整理番号：12A0597560

モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究-マルチプローブセンサヘッドの開発-

著者 (5件)： 細野幸治 (東北大) ,  KIM Woojae (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F08  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らは,2枚のXY格子からのXY方向±1次回折光によって生じる干渉信号からXYZ3軸の変位を同時計測できる3軸サーフェスエンコーダを提案してきた。本センサはXY格子を3軸変位検出の計測基準として用いているため,XY方向の計測範囲はスケール用XY格子のサイズによって決まる。本報では,モザイクXY格子によりXY方向の計測範囲を拡大する手法を提案する。モザイクXY格子に対応したセンサヘッドを開発し,その有効性を確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： 符号器 ,  *センサ ,  格子 ,  有効性 ,  *プローブ ,  同時計測 ,  *変位測定
準シソーラス用語： *マルチプローブ ,  *変位検出器

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： モザイク ,  格子 ,  サーフェス ,  エンコーダ ,  研究 ,  開発