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J-GLOBAL ID：201202204822709089   整理番号：12A0311262

ナノテクノロジー ナノ領域における高分解能・高スループットによるSPMイメージング

著者 (1件)： 斎藤雅美 (ブルカー・エイエックスエス)
資料名： 月刊トライボロジー  (トライボロジー)
号： 294  ページ： 32-33  発行年： 2012年02月10日 
JST資料番号： L0218A  ISSN： 0914-6121  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ領域における高分解能・高スループットによるSPM(走査型プローブ顕微鏡)イメージングに関連して,近年SPMの開発が加速している。本報では高速原子間力顕微鏡(AFM)による形状データの取得について紹介し解説した。主な内容項目を次に示した。1)はじめに:AFMの原理,AFMに望まれる画像取得の「高速化」,2)高速スキャンの技術:高速スキャンに関する研究状況,3)高速スキャン達成のための技術:プローブ(高速AFM用プローブの仕様,カンチレバーの極小化と変位を検出するレーザスポットサイズの適正化),Zスキャナ(測定速度についてはZ方向がXY方向に比べ3ケタ以上高速に応答する必要のあること,用途,目的によりピエゾスキャナの動作範囲と応答スピードを決める必要のあること),電気回路(高速応答つまりSlew rateの向上が必要),4)応用例:短時間で画像を取得する(従来型AFMと高速AFMの比較),変化を観察する(高速AFMにより2フレーム/分で画像を取得したPDES(ポリジエチルシロキサン)の加熱冷却に伴う構造変化),作業効率をあげる(スクリーニングの応用例として60カ所を1時間で測定した例など)。

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *画像処理 ,  *高分解能 ,  スループット ,  片持梁 ,  ポリシロキサン ,  応答時間 ,  発展 ,  微細構造 ,  ナノテクノロジー ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： *高速イメージング ,  *高スループット法 ,  マイクロカンチレバー ,  高速応答 ,  ポリジエチルシロキサン ,  ミクロ構造変化

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノテクノロジー ,  高分解能 ,  高スループット ,  SPM ,  イメージング