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J-GLOBAL ID：201202205018787731   整理番号：12A0539487

低温での294mm幅のグラフェン膜の生産のためのロールからロールへのマイクロ波プラズマ化学蒸着プロセス

A roll-to-roll microwave plasma chemical vapor deposition process for the production of 294mm width graphene films at low temperature

著者 (5件)： YAMADA Takatoshi (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  ISHIHARA Masatou (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  KIM Jaeho (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  HASEGAWA Masataka (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...) ,  IIJIMA Sumio (Nanotube Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 50  号： 7  ページ： 2615-2619  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工業的大量生産のためのグラフェン膜の連続蒸着に,ロールからロールマイクロ波プラズマ化学蒸着(CVD)を使用した。表面波プラズマを使用して,1組のロールからロール巻取りと巻出しシステムを,294mm×480mmの蒸着面積を持つCVD装置内に組み込んだ。グラフェン膜は,400°C以下のCH₄/Ar/H₂プラズマ下で294mm幅のCu膜上に蒸着された。横断面透過型電子顕微鏡から,数層グラフェンが生産され,ナノメートルサイズの薄片から成るのがわかった。ポリエチレンテレフタレート膜に移した後に,高い光透過率が確認された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素材 ,  大量生産 ,  *プラズマCVD ,  表面波 ,  反応器 ,  銅触媒 ,  蒸着膜 ,  連続操作 ,  製品品質 ,  *グラフェン

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  反応操作(単位反応)  (XE01040I) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低温 ,  グラフェン膜 ,  ロール ,  マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  プロセス