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J-GLOBAL ID：201202205152084917   整理番号：12A0231328

RF-PECVDで合成されたダイヤモンドの,核生成因子と電界電子放出特性の向上

The enhanced nucleation factors and field electron emission property of diamond synthesized by RF-PECVD

著者 (4件)： YANG Guangmin (Coll. of Physics, Changchun Normal Univ., Jilin Province, Changchun 130032, CHN) ,  XU Qiang (Changchun Inst. of Technol., Changchun 130021, CHN) ,  WANG Xin (Dep. of Materials Sci., Key Lab. of Mobile Materials, MOE, and State Key Lab. of Superhard Materials, Jilin Univ. ...) ,  ZHENG Weitao (Dep. of Materials Sci., Key Lab. of Mobile Materials, MOE, and State Key Lab. of Superhard Materials, Jilin Univ. ...)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 517  ページ： 98-102  発行年： 2012年03月15日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,いろいろな基材と前処理法を使用して,サブミクロンダイヤモンド(SD),微結晶ダイヤモンド(MD)およびナノ結晶性ダイヤモンド(ND)を合成した。核生成への影響因子の調査のために,次の,3種類の方法を開発して,基材表面に,ダイヤモンドの何らかの集まりを創製した。(a)シリコン基材の化学エッチング(3,8,15分間の,80°CのNaOH水溶液)。(b)シリコン基板表面への(Co(NO₃)₃/Mg(NO₃)₂・6H₂OもしくはFe(NO₃)₃・9H₂O/Mg(NO₃)₂・6H₂Oのアルコール溶液)の滴下。(c)同じPECVD析出手順で,シリコン基材の代わりにNaCl基材を使用。さらに,電界電子放出特性も調査した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ダイヤモンド ,  合成鉱物 ,  *プラズマCVD ,  *核形成 ,  *電界放出 ,  微粒子 ,  微結晶 ,  ナノ結晶 ,  母材 ,  *前処理 ,  エッチング ,  水酸化ナトリウム ,  ケイ素 ,  コバルト化合物 ,  硝酸塩 ,  硝酸マグネシウム ,  鉄化合物 ,  塩化ナトリウム
準シソーラス用語： PECVD ,  サブミクロン粒子 ,  シリコン ,  ミクロ結晶 ,  化学エッチング ,  核生成 ,  *基材 ,  *合成ダイヤモンド ,  硝酸コバルト ,  硝酸鉄 ,  電界電子放出

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  PECVD ,  ダイヤモンド ,  核生成 ,  因子 ,  電界電子放出