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J-GLOBAL ID：201202205196477479   整理番号：12A0971321

マイクロマシンベースの狭帯域Fabry-Perot可同調帯域フィルタ

Micromachined based narrow band Fabry-Perot tunable bandpass filter

著者 (4件)： KARIM M.F. (Inst. Infocomm Res.(I2 R), Singapore) ,  LIU A.Q. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  ONG L.C. (Inst. Infocomm Res.(I2 R), Singapore) ,  GUO Y.-X. (National Univ. Singapore(NUS), Singapore)
資料名： IET Microwaves, Antennas & Propagation  (IET Microwaves, Antennas & Propagation)
巻： 6  号： 5  ページ： 562-568  発行年： 2012年04月12日 
JST資料番号： C0988C  ISSN： 1751-8725  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： これまでRF MEMS可同調フィルタは広帯域なものであったが,狭帯域特性を持つMEMSフィルタが課題である。ここではX帯の狭帯域Fabry-Perot可同調帯域フィルタを設計,試作,測定した。狭帯域特性はバンドギャップ構造内に形成した空洞によるもので,これを二つのBragg反射器間に挿入した伝送線路共振器で構成した。Fabry-Perot電磁バンドギャップ(EBG)フィルタの特性を以下の点を考察した。すなわちQ値に与えるEBGセルの効果,フィルタ特性に影響を及ぼす空洞の長さとスロット寸法における変化,およびFabry-Perot EBGフィルタの伝搬特性である。本可同調フィルタを表面マイクロマシンプロセスを用いてシリコン基板上に製作した。固定のFabry-Perotフィルタの測定結果は約250MHzの帯域幅で挿入損が4dBであった。可同調フィルタ用に空洞内にキャパシタとして動作するマイクロマシンスイッチを設けた。0~34Vのバイアス電圧変化によって共振周波数を調整した。7.5%の同調範囲が得られた。挿入損は4.1~7.35dBであった。

シソーラス用語： *帯域フィルタ ,  *光学フィルタ ,  狭帯域 ,  周波数帯 ,  バンドギャップ ,  マイクロスイッチ ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： *Fabry-Perotフィルタ ,  MEMSスイッチ ,  X帯 ,  *チューナブルフィルタ ,  電磁バンドギャップ

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロマシン ,  狭帯域 ,  同調 ,  帯域フィルタ