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J-GLOBAL ID:201202205304017528   整理番号:12A0717540

高周波超音波変換器用のPMN-PT-PZT複合膜

PMN-PT-PZT composite films for high frequency ultrasonic transducer applications
著者 (8件):
資料名:
巻: 179  ページ: 121-124  発行年: 2012年06月 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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白金化珪素基板上に複合ゾル-ゲル法を用いてx(0.65PMN-0.35PT)-(1-x)PZT(xPMN-PT-(1-x)PZT)(x=0.1,0.3,0.5,0.7,0.9)厚膜を作製することに成功した。これらの膜が稠密,無亀裂で,全組成範囲で十分に結晶化したペロブスカイト相を有することを,X線回折と走査電子顕微鏡観察から示した。誘電率は組成を変えることで調節できる。PZT濃度が高いxPMN-PT-(1-x)PZTほど優れた強誘電性を示した。代表的0.9PMN-PT-0.1PZT厚膜変換器を作製した。中心周波数は200MHz,-6dB帯域幅は38%(76MHz),双方向挿入損は65dBであった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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強誘電体,反強誘電体,強弾性 
タイトルに関連する用語 (5件):
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