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J-GLOBAL ID:201202205518479782   整理番号:12A1772788

ZnOへのKの確実なp型ドーピングへの低温水溶液ルート:成長化学,ドーピングメカニズムおよび熱的安定性

Low Temperature Aqueous Solution Route to Reliable p-Type Doping in ZnO with K: Growth Chemistry, Doping Mechanism, and Thermal Stability
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巻: 116  号: 45  ページ: 24239-24247  発行年: 2012年11月15日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Zn(OAc)2(0.03M)/KOAc(0~0.18M)水溶液の加水分解反応(90°C)によって,カリウムを添加したZnO薄膜をサファイア基板上のZnO種層上に作成し,Hall測定,Raman分光法,走査型電子顕微鏡,X線粉末回折,X線光電子分光法,二次イオン質量分光法などでキャラクタライズした。KOAcの濃度が0.03~0.08Mで合成した試料を700°Cで30分間加熱すると,p型のZnO半導体が生成することを確かめた。半導体のホール濃度の最大値は3.2×1017/cm3(K+:0.03M,pH:約5.5)であった。得られた結果を,合成時のZn2/K+比,水溶液のpHに依存する,ZnOのZnサイトを置換したK+量,格子間に侵入したK+とH+量の違い,およびこれらの格子欠陥の熱処理による拡散によって説明した。
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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