文献

J-GLOBAL ID：201202205796661699   整理番号：12A0098022

イオンビーム支援蒸着により作製された高屈曲性透明導電性ZnS/Ag/ZnS多層膜

Highly flexible transparent and conductive ZnS/Ag/ZnS multilayer films prepared by ion beam assisted deposition

著者 (8件)： YU Zhinong (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  LENG Jian (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  LENG Jian (Key Lab. of Optical Thin Films, Tianjin Jinhang Inst. of Technical Physics, Tianjin 300192, CHN) ,  XUE Wei (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  ZHANG Ting (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  JIANG Yurong (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  ZHANG Jie (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN) ,  ZHANG Dongpu (School of Optoelectronics, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 7  ページ： 2270-2274  発行年： 2012年01月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnS/Ag/ZnS(ZAZ)多層膜をポリエチレンテレフタレート(PET)上に室温におけるイオンビーム支援蒸着により作製した。銀の厚みに依存するZAZ多層の構造的,光学的及び電気的特性を調べた。ZAZ多層は,約10Ω/sq.の低シート抵抗と92.1%の高透過率及び湾曲にさらされた時の改善された抵抗安定性を示した。挿入されたAgの厚みが12nm以上であればZAZ多層は,延性Ag金属層の存在のため,良好な抵抗安定性を示した。結果は,ZAZ膜が在来の酸化インジウムスズ(ITO)単一相より良い光学的及び耐たわみ特性を持つことを示唆した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *硫化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *銀 ,  金属薄膜 ,  多層膜 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  フレキシブル基板 ,  *イオンビーム蒸着 ,  透明導電膜 ,  *電気抵抗率 ,  透過率 ,  *光学定数 ,  *延性 ,  耐久性 ,  シート抵抗

分類 (5件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (7件)： イオンビーム支援蒸着 ,  作製 ,  屈曲性 ,  導電性 ,  ZnS ,  Ag ,  多層膜