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J-GLOBAL ID：201202205812774270   整理番号：12A0405951

共晶接合とダイシング工程に基づくlapped PZTセラミックスおよびシリコン・カンチレバーに対する特性評価

Evaluation of properties of lapped PZT ceramics and silicon cantilever based on eutectic bonding and dicing process

著者 (7件)： LI Yigui (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  SUN Jian (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  LIU Jingquan (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  YANG Chunsheng (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  HE Dannong (National Engineering Res. Center for Nanotechnology, Shanghai, CHN) ,  TANAKA Katsuhiko (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUGIYAMA Susumu (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 663/665  号： Pt.2  ページ： 999-1003  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： 共晶 ,  ダイシング ,  PZT ,  セラミックス ,  シリコン ,  カンチレバー ,  特性評価