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J-GLOBAL ID:201202205877201307   整理番号:12A0437278

2段陽極酸化プロセスにおける陽極酸化アルミニウムのモルフォロジーに及ぼす化学エッチングの効果

Effect of chemical etching on the morphology of anodic aluminum oxides in the two-step anodization process
著者 (3件):
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巻: 258  号: 10  ページ: 4544-4550  発行年: 2012年03月01日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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異なる化学エッチング条件の下での電気化学的酸化によって作製された陽極酸化アルミニウム(AAO)テンプレートのモルフォロジー的特徴を研究した。化学エッチング処理は2段陽極酸化プロセスで生成されたAAOテンプレートのモルフォロジー的特徴に際立ったインパクトを持つ。エッチング処理時間の増加は,エッチング処理時間と陽極酸化時間の比が少なくとも半分であれば,好ましいことである。単にH3PO4だけをベースにしたエッチング溶液は第1陽極酸化段階から酸化アルミニウムを除去できない。2%CrO3の添加はAAOの細孔の特徴に顕著な改良を提供する。H3PO4-CrO3混合物におけるH3PO4濃度を増加することは細孔の特徴を改良するが,CrO3濃度の増加は効果が無い。エッチング溶液の温度もAAO空孔のモルフォロジーに著しく影響する。55°Cのエッチング溶液温度が最適である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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化成処理  ,  酸化物薄膜 
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