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J-GLOBAL ID：201202206492919050   整理番号：12A0210100

FSMAマイクロアクチュエータ開発における近年の進展

Recent Progress in FSMA Microactuator Developments

著者 (9件)： KOHL M. (Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU) ,  REDDY Y. Srinivasa (Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU) ,  KHELFAOUI F. (Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU) ,  KREVET B. (Univ. Karlsruhe, Karlsruhe, DEU) ,  BACKEN A. (IFW Dresden, Dresden, DEU) ,  FAEHLER S. (IFW Dresden, Dresden, DEU) ,  EICHHORN T. (Univ. Mainz, Mainz, DEU) ,  JAKOB G. (Univ. Mainz, Mainz, DEU) ,  MECKLENBURG A. (Helmholtz-Zentrum Berlin, Berlin, DEU)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 635  ページ： 145-154  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： FSMA ,  マイクロアクチュエータ ,  開発 ,  進展