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J-GLOBAL ID:201202206784890915   整理番号:12A0543304

レイアウトを考慮した故障カバレージの高精度見積りに関する一考察

Note on Layout-Aware High Accuracy Estimation of Fault Coverage
著者 (5件):
資料名:
巻: 111  号: 435(DC2011 76-86)  ページ: 19-24  発行年: 2012年02月06日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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半導体製造技術の微細化・高集積化に伴い,欠陥レベルの事前見積り値と実製品に対する値との乖離が問題となっている。本稿では,欠陥レベルを高精度に見積もるための一手法として,与えられたテストパターンセットに対する故障カバレージをより高精度に見積もる手法について検討する。レイアウトデータにおける任意の配線および配線対に対して,複数の欠陥粒径を仮定してクリティカルエリア解析を実行する。得られたクリティカルエリアから,オープン故障およびブリッジ故障に対して,各故障の発生頻度に基づく重み付き故障カバレージを導出する。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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CAD,CAM  ,  固体デバイス計測・試験・信頼性 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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