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J-GLOBAL ID：201202206863990372   整理番号：12A1485145

マイクロフルイディクススケールの16×16画素CMOS ISFETアレイを用いた2Dイオン拡散の高速イメージング

High-Speed Imaging of 2-D Ionic Diffusion Using a 16×16 Pixel CMOS ISFET Array on the Microfluidic Scale

著者 (5件)： SHIELDS Peter (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR) ,  NEMETH Balazs (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR) ,  GREEN Richard B. (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR) ,  RIEHLE Mathis O. (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR) ,  CUMMING David R. S. (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 9-10  ページ： 2744-2749  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si基板,ゲート酸化膜,金属層,窒化ケイ素不動態層及びその上の電解質層から成るISFETアレイを集積化したCMOSイメージセンサを用い,イオンの拡散を高速に画像化するマイクロフルイディクス装置を開発した。最大333フレーム/sのフレームレートで,通常の食塩水に硫酸を加えた時のpH変化をこのセンサによって画像化した。Fickの法則を用い拡散現象を解析した。各画素の検出感度は-17±2mV/pHであった。

シソーラス用語： *pHセンサ ,  *イメージセンサ ,  ISFET ,  イオン拡散 ,  高速度 ,  Fickの法則 ,  素子構造 ,  マイクロフルイディクス
準シソーラス用語： *CMOSイメージセンサ ,  イメージング ,  画素センサ ,  検出感度 ,  二次元画像

分類 (2件)： 物理分析一般  (CC03011F) ,  撮像・録画装置  (ND12032E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 画素 ,  CMOS ,  ISFET ,  アレイ ,  2D ,  イオン拡散 ,  高速イメージング