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J-GLOBAL ID：201202207049121190   整理番号：12A0363754

Si(113)面の二ケイ化チタンナノ結晶異方性成長

Anisotropic growth of titanium disilicide nanocrystals on Si(113) surface

著者 (3件)： MANAKA T. ,  AOKI T. ,  SHUDO K.
資料名： Surface Science  (Surface Science)
巻： 606  号： 7-8  ページ： 722-727  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： C0129B  ISSN： 0039-6028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型トンネル顕微鏡により,Ti蒸着Si(111)面の二ケイ化チタン(TiSi₂)粒子成長を観察した。粒子成長方向は,特に高屈折率面の異方性と関連した。C54型ナノ結晶として粒子を同定し,ケイ化物面形態から配向を決定した。Si(113)固有成長配向は,C54型TiSi₂と再構成表面構造の格子不整合面から説明できた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 屈折率 ,  格子不整合 ,  二酸化ケイ素 ,  結晶面 ,  基板 ,  チタン ,  蒸着膜 ,  *ケイ化物 ,  *チタン化合物 ,  *核形成 ,  *結晶方位 ,  *異方性 ,  ナノ結晶 ,  再構成 ,  表面構造
準シソーラス用語： 高屈折率 ,  *ケイ化チタン ,  *粒子成長

分類 (2件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  ケイ化チタン ,  ナノ結晶 ,  異方性 ,  成長