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J-GLOBAL ID：201202207077878204   整理番号：12A1322002

流体動力学的ナノ研磨工程の電気流体潤滑のモデリング

Elastohydrodynamic Lubrication Modeling of Hydrodynamic Nanopolishing Process

著者 (3件)： MITTAL Rinku (Indian Inst. of Technol. Bombay, Mumbai, IND) ,  SINGH Ramesh K. (Indian Inst. of Technol. Bombay, Mumbai, IND) ,  JOSHI Suhas S. (Indian Inst. of Technol. Bombay, Mumbai, IND)
資料名： Journal of Manufacturing Science and Engineering  (Journal of Manufacturing Science and Engineering)
巻： 134  号： 4  ページ： 041001.1-041001.11  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： C0657A  ISSN： 1087-1357  CODEN： JMSEFK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 生体医学機器,遠隔通信機器,精密光学機器,電子機器などに広く使用されるナノ研磨面に関して,表面粗さを平均膜厚さと圧力に関係づける半経験的モデルを開発した。このモデルは,流体力学的ナノ研磨による表面粗さや接触荷重,スピンドル速度,工具と工作物の材料特性や形状の影響などに及す工程パラメータの影響を明確ではないが表し得る。このモデルの応答は,研磨域内の圧力分布と研磨膜厚さである。流体力学的研磨中に生じる弾性流体力学工程のモデル化には,潤滑した等温点接触の圧力と膜厚さの分布を,Cプログラミング言語でコードした多レベル多統合(MLMI)方式を用いて評価した。最後に,荷重,工具剛性,速度,懸濁中の粒子濃度を表面粗さと暗に関連づけ,表面粗さの半経験的モデルを平均膜厚さと平均圧力の関数として展開した。この表面粗さの半経験的モデルは,実験データと良い一致を示した。

シソーラス用語： *電気流体力学 ,  *研磨面 ,  表面粗さ ,  半経験的方法 ,  膜厚

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  潤滑法  (QB02020D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 流体動力学 ,  研磨工程 ,  流体潤滑 ,  モデリング