マイクロエレクトロニクスにおけるナノ次元の測定に向けた数学的モデリングの使用

文献

J-GLOBAL ID：201202207118094710 整理番号：12A1541981

USE OF MATHEMATICAL MODELING FOR MEASUREMENTS OF NANODIMENSIONS IN MICROELECTRONICS

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巻： 54 号： 12 ページ： 1346-1352 発行年： 2012年03月
JST資料番号： A1669A ISSN： 0543-1972 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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