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J-GLOBAL ID：201202207258016522   整理番号：12A1728006

内部酸化されたRu-Taコーティングのラミネート構造

Laminated structure in internally oxidized Ru-Ta coatings

著者 (1件)： CHEN Yung-i
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 524  ページ： 205-210  発行年： 2012年12月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸素を含む環境下における高温での耐性を目的とした耐火合金コーティングの開発において,以前の研究でMo-RuおよびRu-Taコーティングに対する内部酸化を指摘し調べた。内部酸化ゾーンは,任意の方向を持って交互に積層した酸素リッチ層と欠乏層からなるラミネート構造であることがわかった。以前の研究でその形成機構を提案した。詳細に調べるために,様々な基板-ホルダー回転速度を用いてRu-Taコーティングを作成した。コーティングを,1% O₂-99% Ar混合気体を用いて連続的に浄化された雰囲気中で600°C,30分間熱処理した。透過型電子顕微鏡を用いてラミネート層の周期を調べた。Auger電子分光深さプロファイルから,関連する成分の周期変化が確認できた。X線光電子分光から,酸素イオンの取り込みによって表面付近のTaの原子価が変化していることがわかった。酸素の内部拡散は格子拡散が支配的であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 内部酸化 ,  *ルテニウム ,  *タンタル ,  被覆 ,  積層材料 ,  *耐火被覆 ,  透過型電子顕微鏡 ,  Auger分光法 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： コーティング ,  ラミネート ,  *耐火コーティング ,  Auger電子分光

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 内部酸化 ,  Ru ,  Ta ,  コーティング ,  ラミネート構造