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J-GLOBAL ID:201202208015112570   整理番号:12A1328058

相変化メモリ応用のためのSbリッチSb-Se-Te相変化物質の研究

Investigation on Sb-rich Sb-Se-Te phase-change material for phase change memory application
著者 (12件):
資料名:
巻: 358  号: 17  ページ: 2409-2411  発行年: 2012年09月01日 
JST資料番号: D0642A  ISSN: 0022-3093  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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相変化ランダムアクセスメモリ(PCRAM)への応用のため,SbリッチSb65Se6Te29膜を調べた。Sb65Se6Te29膜の結晶化温度は174°Cで,結晶化の活性化エネルギーは2.7eVである。この膜の10年故障温度は87°Cであり,殆どの商品に利用できる。紫外/可視/近赤外分光測定によると,この膜の光学ギャップはアモルファス相から結晶相へ転換すると減少する。Ge2Sb2Te5ベースのPCRAMセルと比較すると,Sb65Se6Te29ベースのPCRAMセルは低い閾値電圧と大きい抵抗コントラストを持つ利点がある。さらに,10nsの短い電気パルスは2.9Vのリセット電圧におけるリセット操作を可能にする。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
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無機化合物一般及び元素  ,  固体デバイス材料 

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