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J-GLOBAL ID：201202208367329979   整理番号：12A1457822

シリコン上の表面プラズモン検出器

Surface Plasmon Detectors on Silicon

著者 (3件)： OLIVIERI Anthony (Univ. Ottawa, ON, CAN) ,  BERINI Pierre (Univ. Ottawa, ON, CAN) ,  BERINI Pierre (Univ. Ottawa)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8424  ページ： 84241C.1-84241C.8  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Schottky障壁ダイオードに基づき,表面プラズモンポラリトンモードで動作する光検出器を開発した。このデバイスはp⁺基板上のp-Si層とその上の金ストライプ導波路からなる構造を持ち,入射光を供給するテーパーファイバとエンドファイア方式で結合される。光の検出は内部光電効果に基づく光電流により行われる。この検出器の性能を波長1550及び1310nmの光を用いて調べた結果,100mVの逆バイアスで0.88mA/Wに至る応答度が測定された。また検出器の端面ファセットにおける応答度の二次元分布マップを圧電ポジショナ走査器を用いて測定し,最適結合条件を調べた。この検出器は構造が簡単で小型であり,Si系光エレクトロニクスにも適合して高集積が可能であり,Siのバンドギャップ以下のエネルギーに対応する波長の光も検出できる利点もある。

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  *Schottky障壁ダイオード ,  *表面プラズモン ,  金 ,  ポラリトン ,  光導波路 ,  エンドファイアアレイ ,  光ファイバ ,  *赤外検出器 ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： Si基板 ,  サブバンドギャップ ,  表面プラズモンポラリトン

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン ,  表面プラズモン ,  検出器