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J-GLOBAL ID:201202208450341131   整理番号:12A1660285

帯域幅が調整可能で中心周波数の双方向性制御ができるマイクロ機構バンドパスフィルタ

A micromechanical bandpass filter with adjustable bandwidth and bidirectional control of centre frequency
著者 (3件):
資料名:
巻: 187  ページ: 10-15  発行年: 2012年11月 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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この論文では,その帯域幅と中心周波数が独立的に調整できる,可変同調形かつ狭帯域のマイクロ機構フィルタを紹介する。このフィルタは,中間の電極を使って静電気的に結合された2つのマイクロ共振器で作られている。DC電圧をカップリング電極に印加することにより,中心周波数を双方向的に調整する場合,低カップリング強度により,帯域幅がほとんど一定に保たれる。他方では,共振器の1つに軸方向応力を印加することによって,フィルタを通した信号減衰に影響を与えることなく,フィルタの帯域幅を独立的に変更できる。フィルタの挙動のための解析的数値的モデルも提示する。約300kHzの中心周波数をもつ試験デバイスを,標準の微細加工プロセスで制作した。実験結果は,提案モデルの設計原理と正当性を支持する。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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フィルタ一般 
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