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J-GLOBAL ID：201202208678298112   整理番号：12A1218887

DMHLシステムの性能を改良するための収差補正

Aberration correction for improving performance of DMHL system

著者 (2件)： MCADAMS Daniel R. (Univ. Pittsburgh, Pennsylvani) ,  COLE Daniel G. (Univ. Pittsburgh, Pennsylvani)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8253  ページ： 82530O.1-82530O.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 動的マークレスホログラフィックリソグラフィー(DMHL)は,新しいマイクロ製造技術である。液晶空間光変調素子(SLM)上にホログラムを表示して,パターニングに利用するレーザ光をすべての方向に誘導することができる。DMHLでは,光学的収差によりシステム性能が劣化する。このため,光学的収差の補正法の開発が必要であった。本論文では,DMHLシステムの性能を改良するための収差補正について検討した。収差補正法として,Zernike多項式を利用する方法を提案した。鮮鋭度を最大化することで,最適Zernike係数を導出した。パターニング体積を評価することで,DMHLプロセスに及ぼす収差補正の効果を定量化した。この結果,収差補正法を利用することで,収差補正法を利用しない場合に比べて,DMHLシステムの性能が改良されることが分かった。ミスアライメント光学系でも補正できることが判明した。

シソーラス用語： *空間光変調素子 ,  パターン形成 ,  アラインメント ,  ホログラフィー ,  ホログラム ,  生産技術 ,  *フォトリソグラフィー ,  *ホログラフィー応用 ,  収差補正 ,  結像 ,  動的系 ,  Zernike多項式
準シソーラス用語： グラフィック ,  システム性能 ,  *ホログラフィックリソグラフィー ,  製造技術

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ホログラフィーの応用  (BD03074U)

タイトルに関連する用語 (1件)： 収差補正