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J-GLOBAL ID：201202208788048103   整理番号：12A0965120

回転基板上へのシリコンシートの形成

Formation of Silicon Sheet on a Rotating Substrate

著者 (6件)： LEE Jaewoo (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Changbum (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Joonsoo (Korea Inst. Energy Res., Daejeon, KOR) ,  JANG Bo-Yun (Korea Inst. Energy Res., Daejeon, KOR) ,  AHN Youngsoo (Korea Inst. Energy Res., Daejeon, KOR) ,  YOON Wooyoung (Korea Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 4  ページ： 3233-3236  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スピン鋳造プロセスによりシリコンシートを作製する方法を提案し,シート厚を制御するプロセスパラメータを研究した。スピン鋳造を通して作製するシートの厚みは相対遠心力に逆比例することが分った。シリコンの流動性と凝固挙動を数値シミュレーションにより調べ,スピン鋳造により矩形シートが作成できると予測し,これを実験により確かめた。形成したシートには長い柱状構造が観測された。

シソーラス用語： *遠心鋳造 ,  基板 ,  鋳型【鋳造】 ,  半導体薄膜 ,  膜厚 ,  遠心力 ,  シミュレーション ,  柱状晶 ,  計算流体力学 ,  *ケイ素 ,  太陽電池 ,  薄板
準シソーラス用語： シリコン太陽電池 ,  *スピン鋳造 ,  数値シミュレーション ,  柱状結晶

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (2件)： 回転基板 ,  シリコン