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J-GLOBAL ID：201202209315655335   整理番号：12A1727545

静電気力顕微鏡による厚い絶縁体の誘電率を定量化:プローブ顕微鏡の部品の影響

Quantifying the dielectric constant of thick insulators by electrostatic force microscopy: effects of the microscopic parts of the probe

著者 (3件)： GRAMSE G ,  GOMILA G ,  FUMAGALLI L
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 20  ページ： 205703,1-15  発行年： 2012年05月25日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電気力プローブ顕微鏡の部品であるコーン状探針の長さやカンチレバーの相互作用面積など幾何学的形状が測定に与える影響を有限要素法解析により系統的かつ詳細に調べた。これまで誘電率の定量化が困難だった10μm以上に厚い絶縁基板の局所的な値を求めることができることを実証した。理論解析モデルの提示,局所静電相互作用に及ぼすマクロなプローブ形状の効果として金属および絶縁体の場合の比較,を述べたのち厚い絶縁体の誘電率評価の手法と評価結果を述べた。すなわち,微視的な探針先端と厚い絶縁基板(厚さ>100μm)の間の静電相互作用に与える影響の体系的に分析し,基板の局所誘電率の測定が可能なことを示した。このことにより厚い絶縁体の誘電率の非常に正確な値を取得できるように,コーン高さが実際と同様で,かつ,カンチレバーディスク面積を相互作用面積として取り入れるなら,完全に正確に誘電率を測定できる。これらの因子は基板の誘電率に独立なため,参照絶縁体があれば他の材料でも誘電率を求めることができる。かくして,厚い絶縁体の局所誘電率測定にこの静電気力顕微鏡を用いて可能な一般的方法論を提案した。

シソーラス用語： *静電気 ,  *力顕微鏡 ,  *誘電率 ,  *計測 ,  *絶縁材料 ,  数値解析 ,  *形態 ,  *プローブ ,  解析モデル ,  基板 ,  厚膜 ,  *絶縁体
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  探針 ,  局所誘電率

分類 (1件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 静電気力顕微鏡 ,  絶縁体 ,  誘電率 ,  定量化 ,  プローブ顕微鏡