文献

J-GLOBAL ID：201202209758716353   整理番号：12A1318585

黒金吸収層を有する酸化バナジウムマイクロボロメータ

Vanadium oxide microbolometer with gold black absorbing layer

著者 (9件)： WANG Bin (Wuhan National Lab. Optoelectronics, Wuhan, CHN) ,  WANG Bin (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  LAI Jianjun (Wuhan National Lab. Optoelectronics, Wuhan, CHN) ,  LAI Jianjun (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  ZHAO Erjing (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  HU Haoming (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  LIU Qian (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  CHEN Sihai (Wuhan National Lab. Optoelectronics, Wuhan, CHN) ,  CHEN Sihai (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 51  号： 7  ページ： 074003.1-074003.6  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロボロメータの性能は,吸収層の特性に影響される。酸化バナジウムの非冷却ボロメータでは,高長波赤外線の吸収層の選択が重要になる。本論文では,黒金吸収層を有する酸化バナジウムマイクロボロメータについて検討した。350°C以下の表面マイクロマシニング法で作製し,これを最適化した。黒金吸収層の反射率はFTIR分光法で評価した。この結果,8~14μmの赤外窓で反射率は低く,吸収は高いことが判明した。13Hzのチョッパー周波数とバイアス電流67μAでにおいて,最大応答性が8.4×104V/W,検出感度が6.16×108cmHz^1/2/Wであることが分かった。

シソーラス用語： *ボロメータ ,  赤外検出器 ,  *酸化バナジウム ,  金 ,  マイクロマシニング ,  バイアス ,  チョッパ ,  検出限界 ,  赤外分光法 ,  反射率
準シソーラス用語： バイアス電流 ,  *マイクロボロメータ ,  吸収層 ,  検出感度

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (3件)： 吸収層 ,  酸化バナジウム ,  マイクロボロメータ