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J-GLOBAL ID：201202209919564192   整理番号：12A1727342

カーボンナノチューブに基づくナノ絨毯のウエハ規模集積用の毛細管法と誘電泳動駆動集合法の組合せ

A combination of capillary and dielectrophoresis-driven assembly methods for wafer scale integration of carbon-nanotube-based nanocarpets

著者 (18件)： SEICHEPINE Florent (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  SEICHEPINE Florent (Inst. Carnot Cirimat, CNRS, Toulouse, FRA) ,  SEICHEPINE Florent (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  SALOMON Sven (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  SALOMON Sven (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  COLLET Maeva (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  COLLET Maeva (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  GUILLON Samuel (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  GUILLON Samuel (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  NICU Liviu (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  NICU Liviu (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  LARRIEU Guilhem (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  LARRIEU Guilhem (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  FLAHAUT Emmanuel (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  FLAHAUT Emmanuel (Inst. Carnot Cirimat, CNRS, Toulouse, FRA) ,  FLAHAUT Emmanuel (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA) ,  VIEU Christophe (Univ. de Toulouse, Toulouse, FRA) ,  VIEU Christophe (LAAS, CNRS, -Toulouse, FRA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 9  ページ： 095303,1-7  発行年： 2012年03月09日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 毛細管集合体に結合した埋込電極誘電泳動を用いて,配向二層カーボンナノチューブ(CNT)の稠密層をウエハ規模で集積する汎用法を示した。CNTは電気力線に沿って配向し,事前に定めた位置に集合し,密度は毛管力と誘電泳動力を独立に制御して調節できる。次に,専用のメタライゼーション工程を用いてCNTの集合部位を個別に接続する。この独自の方法を用いて,種々の基本素子中に配向した多層CNTをウエハ規模で集積した。最後にエッチングを行い,懸垂したCNT系ナノ絨毯の概念を実証した。

シソーラス用語： *多層カーボンナノチューブ ,  ナノ構造 ,  *ウエハ【IC】 ,  毛細管 ,  毛管力 ,  電気泳動 ,  メタライゼーション ,  エッチング ,  Ramanスペクトル ,  電子顕微鏡観察 ,  *パターン形成 ,  二酸化ケイ素 ,  ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  半導体材料
準シソーラス用語： ナノ絨毯 ,  誘電泳動

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： カーボンナノチューブ ,  絨毯 ,  ウエハ規模集積 ,  毛細管 ,  誘電泳動 ,  集合 ,  組合せ