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J-GLOBAL ID：201202209956349196   整理番号：12A0431061

液体金属イオン源によるナノ構造操作

Nanostructure operations by means of the liquid metal ion sources

著者 (2件)： GASANOV I. S. (Inst. of Physics, G. Javid pr., 33, Baku, Az1143 Azerbaijan) ,  GURBANOV I. I. (Inst. of Physics, G. Javid pr., 33, Baku, Az1143 Azerbaijan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 2  ページ： 02B906  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の作業物質にもとづいて液体金属イオン源の分散相の特性が研究される。荷電粒子の生成が閾画像で生じ,エミッタの表面上の毛管不安定性の励起によって同時に達成される。多数の粒子は約2nm(Sn)と5×10⁴C/kgの特有な電荷をもつ。もし,作業液体が高粘性(Ni)を有するならば,ナノ液滴の生成は生じない。金ナノ粒子がバイオセンサの感度を増加させる目的で石英カンチレバーの表面上で,そして生成圧力センサのためのカーボンナノチューブの外部表面上で蒸着のために使用される。イオン源によって,ナノ構造が困難なイオン光学なしで誘電体の平坦な表面上でエッチングされる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *イオン源 ,  液体金属 ,  *ナノ構造 ,  荷電粒子 ,  ナノ粒子 ,  エッチング
準シソーラス用語： 液体金属イオン源 ,  金ナノ粒子

分類 (1件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F)

タイトルに関連する用語 (2件)： 液体金属イオン源 ,  ナノ構造