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J-GLOBAL ID：201202210451879075   整理番号：12A0773159

周波数増倍トランスデューサの集積化による多軸ALN・オン・シリコン振動エネルギーハーベスタ

MULTI-AXIS ALN-ON-SILICON VIBRATION ENERGY HARVESTER WITH INTEGRATED FREQUENCY-UPCONVERTING TRANSDUCERS

著者 (4件)： FU J. L. (Georgia Inst. Technol., Georgia, USA) ,  NAKANO Y. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SORENSON L. D. (Georgia Inst. Technol., Georgia, USA) ,  AYAZI F. (Georgia Inst. Technol., Georgia, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.2  ページ： 1269-1272  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,機械的周波数の増倍によって電力出力が向上する,完全集積型多軸圧電・オン・シリコン運動エネルギーハーベスタ(KEHs)について述べた。このエネルギーハーベスタにおける,運動エネルギーの電気エネルギーへの変換は,同じ基板上にマイクロ加工した,面外および面内デバイス(ハーベスタ)が行う。面外デバイス(面内デバイス)は,134Hz(2Hz)の入力振動に対して,ほとんど100×(3000×以上)の増倍を示した。本報のバッチ加工プロセスは,RF共振器およびセンサのようなALN・オン・シリコンデバイスにも共用できる。個々のハーベスタの全体積は,それぞれ,5mm³(面内)および1mm³(面外)である。これは,デバイスの積層アレイによる電力密度増大の可能性を意味する。

シソーラス用語： *周波数逓倍 ,  *変換器 ,  *マイクロマシン ,  *振動エネルギー ,  *電気機械 ,  *エネルギー変換
準シソーラス用語： エネルギーハーベスタ ,  トランスデューサ ,  多軸ALN・オン・シリコン

分類 (1件)： エネルギー変換装置  (LC01020U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 周波数増倍 ,  トランスデューサ ,  集積化 ,  多軸 ,  AlN ,  シリコン ,  エネルギーハーベスタ