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J-GLOBAL ID：201202210470286948   整理番号：12A0790046

シリコン・オン・インシュレータ金属酸化物半導体フォトダイオードによる可視光検出を強化するための金ラインアンドスペース格子を持つ表面プラズモンアンテナ

Surface Plasmon Antenna with Gold Line and Space Grating for Enhanced Visible Light Detection by a Silicon-on-Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Photodiode

著者 (2件)： SATOH Hiroaki (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  INOKAWA Hiroshi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 11  号： 2  ページ： 346-351  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン・オン・インシュレータMOS(SOI-MOS)フォトダイオードのための金(Au)ラインアンドスペース(L/S)格子アンテナを調べた。SOI-MOSフォトダイオードは,高速動作,電荷当たりの高電圧利得,そして,低暗電流という利点を持っている。しかし,光感度は,光を吸収する体積が小さいため一般には大変低い。光感度を強化するために,表面プラズモン(SP)アンテナを採用した。SPアンテナは周期的金属構造によって作製され,入射光をアンテナ表面周りの光学近接場に変換する。MOSゲートをSPアンテナによって置き換えることによって,SOI-MOSフォトダイオードの利点を維持しながら光吸収を強化することができる。ここでは,SPアンテナを持つSOI-MOSフォトダイオードにおける可視光吸収に焦点を当てる。有限差分時間領域(FDTD)法を用いた電磁シミュレーションによって構造条件を分類した。その目的は高吸収効率及び単一ピーク分光特性,偏光応答,そして,共鳴機構を得ることである。

シソーラス用語： *フォトダイオード ,  SOI構造 ,  *MOS構造 ,  可視光 ,  金 ,  表面プラズモン ,  アンテナ ,  光吸収 ,  偏光 ,  暗電流 ,  素子構造 ,  有限差分時間領域法
準シソーラス用語： シリコン・オン・インシュレータ技術

分類 (2件)： 光導電素子  (NC03083X) ,  アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (9件)： シリコン・オン・インシュレータ ,  金属酸化物半導体 ,  フォトダイオード ,  可視光 ,  強化 ,  金 ,  スペース ,  格子 ,  プラズモンアンテナ