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J-GLOBAL ID：201202210522480632   整理番号：12A0216647

不平衝マグネトロンスパッタリングのダブルトラップにおける静電振動および結合共振

Electrostatic oscillation and coupling resonance in double trap of unbalanced magnetron sputtering

著者 (5件)： Mu Zongxin (Key Lab. of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams of Ministry of Education, School of Physics and ...) ,  Mu Xiaodong (Key Lab. of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams of Ministry of Education, School of Physics and ...) ,  Jia Li (Key Lab. of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams of Ministry of Education, School of Physics and ...) ,  Wang Chun (Key Lab. of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams of Ministry of Education, School of Physics and ...) ,  Dong Chuang (Key Lab. of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams of Ministry of Education, School of Physics and ...)
資料名： Wuli Xuebao  (Wuli Xuebao)
巻： 59  号： 10  ページ： 7164-7169  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0628A  ISSN： 1000-3290  CODEN： WLHPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 結合共振は,不平衝マグネトロンスパッタリング目標の表面の磁場からなる磁気トラップにおけるプラズマ静電気振動および平行にマグネトロンスパッタリング目標および逆のバイアス基板から良く構成されるポテンシャルによって誘起された。Langmuir探針を用いて,浮動ポテンシャル信号のプラズマ特性およびパワースペクトル密度(PSD)を研究した。典型的放電条件の下で,両方のトラップにおける固有振動数は,それぞれ30~50kHzまたは10~20kHzの範囲にあって,音響の定在波モードで計算された両方のトラップにおける電子温度は,実験結果と一致した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *トラップ【生物】 ,  パワースペクトル密度 ,  Langmuir探針 ,  ポテンシャル ,  特性 ,  磁気トラップ ,  固有振動数
準シソーラス用語： プラズマ特性 ,  実験結果

分類 (1件)： 非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (3件)： マグネトロンスパッタリング ,  トラップ ,  共振