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J-GLOBAL ID：201202210677834783   整理番号：12A0722832

垂直走査白色光干渉計の横分解能と伝達特性

Lateral resolution and transfer characteristics of vertical scanning white-light interferometers

著者 (3件)： XIE Weichang ,  LEHMANN Peter ,  NIEHUES Jan
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 11  ページ： 1795-1803  発行年： 2012年04月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 白色光干渉計は,産業や科学的な分野で高精度トポグラフィー測定のために広く使われている。白色光干渉計を特徴づける一般方法は,小さな表面振幅を仮定して,線形伝達特性を装置伝達関数(ITF)で記述している。しかし,バットウイング効果により,系統的誤差が大きくなり,ITFに余分な非線形性が誘起される。本論文では,白色光干渉計において,小さい表面振幅の限界を克服するために,垂直走査で得られた画像面の干渉縞をシミュレーションするモデルを開発した。物体の高さと位置を変えてシミュレーションを繰り返すこと,画像スタックを得た。これを実測定データとして利用して,同アルゴリズムにより解析した。シミュレーション結果は実験観測と一致した。バットウイング効果が特定の状況で出現して,構造が光学的に分解される限り,長方形格子構造の補正振幅を得ることができた。実験結果やシミュレーション,線形系挙動に基づく理論近似により,広帯域幅の変換特性を予測した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *干渉計 ,  白色光 ,  光走査 ,  垂直方向 ,  空間分解能 ,  *放射伝達 ,  シミュレーション ,  トポグラフィー【形態】 ,  アルゴリズム ,  測定データ ,  正方格子 ,  伝達関数 ,  非線形性 ,  格子構造
準シソーラス用語： 実験結果 ,  方形格子

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 垂直 ,  走査 ,  白色 ,  光干渉計 ,  分解能 ,  伝達特性