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J-GLOBAL ID：201202210765212024   整理番号：12A1187347

プラズマ支援ルートによって開発したCuO/ZnOナノ組成物によるガスセンサー

CuO/ZnO Nanocomposite Gas Sensors Developed by a Plasma-Assisted Route

著者 (12件)： SIMON Quentin (Padova Univ., Padova, ITA) ,  BARRECA Davide (Padova Univ., Padova, ITA) ,  GASPAROTTO Alberto (Padova Univ., Padova, ITA) ,  MACCATO Chiara (Padova Univ., Padova, ITA) ,  TONDELLO Eugenio (Padova Univ., Padova, ITA) ,  SADA Cinzia (Padova Univ., Padova, ITA) ,  COMINI Elisabetta (Brescia Univ., Brescia, ITA) ,  SBERVEGLIERI Giorgio (Brescia Univ., Brescia, ITA) ,  BANERJEE Manish (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  XU Ke (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  DEVI Anjana (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  FISCHER Roland A. (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： ChemPhysChem  (ChemPhysChem)
巻： 13  号： 9  ページ： 2342-2348  発行年： 2012年06月18日 
JST資料番号： W1265A  ISSN： 1439-4235  CODEN： CPCHFT  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多結晶Al₂O₃基板上にナノ柱状構造のCuO/ZnO組成物を合成する革新的な方法を研究した。プラズマ増強化学蒸着(PE-CVD)によってZnOの柱状配列が成長した後にCuO粒子をCuの高周波(RF)スパッタリングによって析出させ,空気中でex situアニーリングした。この過程によって,特定の形状をもつ高純度のCuO/ZnO系を合成することができた。Cuのスパッタリング中のRF出力を調整するとCuO/ZnO比とCuO拡散を同時に調節できるので,2成分は十分に混合した。このナノ組成物はZnOマトリクスの表面/体積比が高いのでO₃やC₂H₅OHのセンサーとして有効な形状になった。300°C以上の作用温度で使用するとO₃,C₂H₅OH,H₂のような還元ガスのうち特にO₃を選択的に識別することができた。センサーの作用状態関数として,反応系の選択性をさらに詳しく検討する必要がある。

シソーラス用語： アルミナ ,  基板 ,  *酸化亜鉛 ,  ナノ結晶 ,  *柱状晶 ,  プラズマCVD ,  銅 ,  RFスパッタリング ,  空気酸化 ,  *酸化第二銅 ,  *ナノ粒子 ,  *ヘテロ接合 ,  *ガスセンサ ,  比表面積 ,  *オゾン ,  一酸化炭素 ,  水素 ,  *電気伝導率 ,  電子顕微鏡観察 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  X線光電子スペクトル ,  二次イオン質量分析 ,  X線回折 ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族ケトン ,  アルカン
準シソーラス用語： 微小角入射X線回折

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

物質索引 (3件)： エタノール ,  アセトン ,  メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  支援 ,  開発 ,  CuO ,  ZnO ,  ガスセンサー